1.粗真空系統(tǒng)    

用粗真空泵(如水蒸氣噴射泵或水環(huán)泵)直接從大氣壓下為真空室排氣，組成的真空系統(tǒng)即為粗真空系統(tǒng).該系統(tǒng)是簡單的真空系統(tǒng)。

2.低真空系統(tǒng)

用低真空泵(如油封式機(jī)械泵)給真空室排氣，即可組成低真空系統(tǒng)。

3.中真空系統(tǒng)

4.高真空系統(tǒng)

這種系統(tǒng)應(yīng)用較廣泛，它的工作壓力范圍一般在1.33×10-2~1.33×10-3Pa.

(1)擴(kuò)散泵串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。可以獲得10-2~10-5Pa的真空度，一般用在工作時(shí)放氣量比較小的應(yīng)用設(shè)備上。該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡單。工作可命，成本低。缺點(diǎn)是系統(tǒng)啟動慢，預(yù)抽時(shí)間長。擴(kuò)散泵的油蒸氣容易返流到真空室中去。

(2)擴(kuò)散泵申聯(lián)油增壓泵，再串聯(lián)油封機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)的預(yù)抽時(shí)間短，但啟動較慢。

(3)擴(kuò)散泵串聯(lián)羅茨泵(機(jī)械增壓泵)，再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。它的啟動慢.但預(yù)抽氣時(shí)間短。

5.超高真空系統(tǒng)

(1)擴(kuò)散泵串聯(lián)機(jī)械泵申聯(lián)冷阱系統(tǒng)。

上海帕特泵業(yè)制造有限公司

2012年05月29日 星期二

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